光电直读光谱仪成像的清晰度不仅取决于几何光学定律，还取决于透镜的焦距，多个透镜的组合等，并且还受光的衍射现象的限制。当放大倍数足够大时，仪器分辨物体细节的性能不会再提高了。这是由于衍射的限制，并且光学仪器的分辨能力有一个蕞高的限定值。
对于光电直读光谱仪，分辨率取决于分光后狭缝截取的波段精度，狭缝越窄，截取波段越窄，分辨率越高。但是，能量急剧减少，灵敏度不断降低。为了兼顾检测灵敏度，不能在没有限制的情况下减小狭缝以提高分辨率。
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