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超纯水是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，都是经过膜过滤或混合床等终端精处理的水。高纯水和超纯水的区别，主要就是看它们各自的 电导率和含盐量。超纯水电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
总之，就是从电导率和含盐量两个角度来看待就行，指标越低，纯度越高。
二.工艺流程
原水－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－增压泵－一级反渗透－增压泵－二级反渗透－精密过滤器－EDI －超纯水水箱－输送泵－用水点 
