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低温等离子净化器采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内流星雨状的高能离子与介质内分子(原理）发生非弹性碰撞，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发，离解、电离等一系列过程使污染介质处于活性状态，污染介质在等离子体的作用下，产生高浓度、高强度、高能量的各种活性自由基、高能电子、高能离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应。（初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性养离子（O2-)，结果是氧离子的两极分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分分解为无害的产物和水）从净化空气效率
等离子废气处理设备在废气净化的通道上必须充满了等离子体。这条规则判断很简单，只要用眼睛观察一下处理通道是否充满紫蓝色的放电就可以直观的了解是否是低温等离子体了需要注意的是不要将各种颜色的灯光当作电离子体放电）。如果在废气处理的通道上只零星的分布若干的放电点或线，则处理的效果是非常有限的，因为，大部分的气体没有进过等离子废气处理设备处理区域。低温等离子体处理系统必须要有一定的放电处理功率。要想分解VOCs没有一定的能量是不可能的。
