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XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光栅尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍镜头)
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英制单位 |
公制单位 |
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测量范围 |
12" X6"X6" |
300X150x150毫米 |
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尺寸 |
28.3" X30.5"X38.3" |
720X775X873毫米 |
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负载 |
25kg |
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台面分辨率 |
0.5um |
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光学 |
双重放大 (物镜) |
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低倍 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
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高倍 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
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标配镜头 |
1X |
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可选镜头 |
0.8X,2.5X,5X |
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照明 |
LED 背光,LED 同轴面光 |
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可选特征 |
多色可编程环形光 (PRL) |
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Ronchi 栅格自动ju jiao |
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TTL 激光 |
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旋转分度工作台 |
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