大容量运输三轴式测量系统

VIEW Benchmark 624 是 QVI旗下一款大容量式全自动三轴尺寸测量系统.®

VIEW Benchmark 624 的移动桥式结构和光学可使被测组件始终保持静止状态

X,Y,Z行程 (mm)：624 x 624 x 150，0.5 μm  选项：624 x 624 x 200

X,Y,Z 光栅尺分辨率：0.5 μm，选项： 0.1μm

工作台驱动系统：直流伺服马达XYZ,单一Y轴驱动和Y轴光栅尺

双Y-轴驱动及Y轴光栅尺

Zui da速度：X,Y - 200mm/秒;   Z - 100 mm/秒

Zui da承载量：50 kg 均匀分布在玻璃平台上

100 kg l均匀分布在坐标轴上

光学系统：双重放大视场可交换式前置镜头，VIEW2.5X标配镜头